光学轮廓仪

     Veeco 光学轮廓仪是高分辨、搞测量速度及高重复性的三维检测仪器。器表形貌表征范围从纳米尺度的粗糙度检测到毫米尺度的台阶高度测量。

     非接触式光学轮廓仪涵盖多种表面的测量，包括粗糙或光滑的、坚硬或柔软的、有粘性的、透明薄膜、或是其它方法难以测量的表面。光学轮廓仪提供了精确的表面信息。

主要参数：

1.      纳米以下的垂直分辨率，可分析超光滑表面的粗糙度。

2.      最大可以测量10mm的台阶高度。

3.      测量功能非接触式测量，适用于三维形貌，表面，膜厚等

4.      扫描方式PSI(相移干涉模式)

         SI（垂直扫描干涉模式）

5.      光源高寿命的绿光及白光LED

6.      Z方向分辨率0.5nm

7.      RMS重复率0.05nm

8.      Z方向扫描范围0.5nm-10mm

9.      垂直扫描速度24μm/s

10.  横向采样间隔0.5nm至13.2μm

11.  台阶高度0.8%精确度

应用范围：

1.      金属表面的光洁度、平整度

2.      2薄膜厚度

3.      感光胶及透明薄膜厚度

4.      微电机系统特性测量

5.      微镜高度、形貌及V-形槽深度

6.      表面质量和缺陷检测