超声波扫描显微系统

     超声波扫描显微系统是一款专门用于半导体器件及材料无损检测的专用设备，采用了最新的射频和超声换能器技术，频率可高达230MHz，简单易用的图形用户界面提供了强大的功能，可轻松应对各种复杂的超声检测工作。

基于最新的产品技术和研究成果为用户量身定制的一套符合行业标准的核心平台，其扫描台采用超高速线性马达和磁悬浮技术，可精确处理样品的尺寸达320×320×45mm（长/宽/高），换能器频率范围为15-230MHz。

机械部分:

驱动：X/Y两轴超高速线性马达系统，磁悬浮导轨

扫描范围：250×250 μm   最大320×320mm

最大扫描速率：1500 mm/s，加速度：10 m/s²

重复精度：+/- 0.1μm

Z-轴驱动：电机驱动，移动范围100 mm

电子部分:

射频接口：1×230MHz

信号转换：1×230M sample/s AD模数转换卡

电脑控制：基于Windows操作系统的高性能磁盘阵列（RAID 1）

软件部分:

扫描模式：A-，B-，C-，D-，G-，P-，S-，X-，3D-，顺序扫描，自动扫描，HQ扫描，快速傅里叶变换（FFT），B-scan定量测量，包括渡越时间功能的A-scan数字波形实时显示，实时3D扫描，预扫描和快速预扫描模式

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